本设备专为半导体行业设计,聚焦晶圆硅片精密清洗需求,型号 JTW-90360AD,采用 “超声波旋转清洗 + 抛动 + 热风干燥” 一体化设计,适配半导体生产中晶圆硅片的全自动清洁与干燥作业,契合行业对硅片清洁度、干燥度的高规格标准。
设备清洗频率覆盖 40KHZ-80KHZ 可调,可根据晶圆硅片表面不同类型污渍(如细微颗粒、有机残留)灵活匹配频率,通过超声波振动与旋转、抛动协同作用,深入清除硅片表面及缝隙杂质;清洗温度支持常温至 100℃调节,能适配不同清洗工艺要求,避免高温损伤硅片或低温导致清洁不彻底。
| 型号:JTW-90360AD | 类型:超声波旋转清洗+抛动+热风干燥 |
| 清洗频率:40KHZ-80KHZ | 功率:180KW |
| 清洗温度:常温-100℃ | 槽数:9 |
| 外形尺寸:9.5M*1.8M*2.7M | 重量:5吨 |